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ULVAC愛發(fā)科CGM－051的技術(shù)參數(shù)和產(chǎn)品特點
更新時間：2026-03-02
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愛發(fā)科（ULVAC）CGM-051 是一款四極質(zhì)譜儀，屬于殘余氣體分析儀（Residual Gas Analyzer, RGA）。
這類儀器的核心功能是通過分析真空環(huán)境中的氣體成分，來判斷系統(tǒng)狀態(tài)。因此，CGM-051 并非簡單的真空計，而是一臺精密的“真空嗅探器"，用于分析真空腔體內(nèi)殘留氣體的種類和分壓強。
?? 核心參數(shù)
以下是該型號分析儀的關(guān)鍵技術(shù)規(guī)格：
表格
| 參數(shù)項目 | 數(shù)值/規(guī)格 |
|---|---|
| 型號 | CGM-051 |
| 質(zhì)量數(shù)范圍 | 1 ~ 51 amu |
| 最小可檢測分壓強 | < 1×10?? Pa |
| 質(zhì)量標(biāo)度穩(wěn)定性 | ±0.1 amu/8小時 |
| 離子源燈絲 | 鑄釷鎢 (Th-W) |
| 檢測器 | 法拉第杯 (可選配電子倍增器) |
? 產(chǎn)品特點
超高靈敏度：能夠檢測到極低濃度的氣體成分，最小可檢測分壓強可達(dá) 1×10?? Pa 量級，非常適合用于高真空和超高真空環(huán)境的泄漏檢測和雜質(zhì)分析。
快速掃描：可以快速掃描 1~51 amu 的質(zhì)量范圍，實時監(jiān)測真空室內(nèi)氣體成分的變化，幫助工程師判斷工藝狀態(tài)或泄漏源。
堅固耐用：采用鑄釷鎢燈絲，相比普通燈絲具有更長的使用壽命和更好的抗中毒能力，適合在復(fù)雜工業(yè)環(huán)境中長期運行。
操作簡便：通常配備專用的控制單元（如 CGM-CP01），通過電腦軟件進(jìn)行操作，界面友好，易于進(jìn)行譜圖分析。
?? 主要用途
CGM-051 廣泛應(yīng)用于需要嚴(yán)格控制真空環(huán)境純度的領(lǐng)域：
真空系統(tǒng)檢漏：通過檢測示蹤氣體（如氦氣）的信號，精確定位真空系統(tǒng)的泄漏點。
工藝過程監(jiān)控：在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜（PVD/CVD）等工藝中，實時監(jiān)控反應(yīng)氣體的消耗和副產(chǎn)物的生成，確保產(chǎn)品質(zhì)量。
材料出氣分析：在真空熱處理或空間模擬環(huán)境中，分析材料在真空下釋放的氣體成分（如水蒸氣、碳?xì)浠衔铮u估材料的真空適應(yīng)性。
基礎(chǔ)科學(xué)研究：在物理、化學(xué)等實驗室中，用于表面科學(xué)、催化反應(yīng)等領(lǐng)域的氣體成分分析。
