ULVAC愛(ài)發(fā)科CGM－051的技術(shù)參數(shù)和產(chǎn)品特點(diǎn)

更新時(shí)間：2026-03-02

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愛(ài)發(fā)科（ULVAC）CGM-051 是一款四極質(zhì)譜儀，屬于殘余氣體分析儀（Residual Gas Analyzer, RGA）。

這類(lèi)儀器的核心功能是通過(guò)分析真空環(huán)境中的氣體成分，來(lái)判斷系統(tǒng)狀態(tài)。因此，CGM-051 并非簡(jiǎn)單的真空計(jì)，而是一臺(tái)精密的“真空嗅探器"，用于分析真空腔體內(nèi)殘留氣體的種類(lèi)和分壓強(qiáng)。

?? 核心參數(shù)

以下是該型號(hào)分析儀的關(guān)鍵技術(shù)規(guī)格：

表格

參數(shù)項(xiàng)目	數(shù)值/規(guī)格
型號(hào)	CGM-051
質(zhì)量數(shù)范圍	1 ~ 51 amu
最小可檢測(cè)分壓強(qiáng)	< 1×10?? Pa
質(zhì)量標(biāo)度穩(wěn)定性	±0.1 amu/8小時(shí)
離子源燈絲	鑄釷鎢 (Th-W)
檢測(cè)器	法拉第杯 (可選配電子倍增器)

? 產(chǎn)品特點(diǎn)

超高靈敏度：能夠檢測(cè)到極低濃度的氣體成分，最小可檢測(cè)分壓強(qiáng)可達(dá) 1×10?? Pa 量級(jí)，非常適合用于高真空和超高真空環(huán)境的泄漏檢測(cè)和雜質(zhì)分析。
快速掃描：可以快速掃描 1~51 amu 的質(zhì)量范圍，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空室內(nèi)氣體成分的變化，幫助工程師判斷工藝狀態(tài)或泄漏源。
堅(jiān)固耐用：采用鑄釷鎢燈絲，相比普通燈絲具有更長(zhǎng)的使用壽命和更好的抗中毒能力，適合在復(fù)雜工業(yè)環(huán)境中長(zhǎng)期運(yùn)行。
操作簡(jiǎn)便：通常配備專(zhuān)用的控制單元（如 CGM-CP01），通過(guò)電腦軟件進(jìn)行操作，界面友好，易于進(jìn)行譜圖分析。

?? 主要用途

CGM-051 廣泛應(yīng)用于需要嚴(yán)格控制真空環(huán)境純度的領(lǐng)域：

真空系統(tǒng)檢漏：通過(guò)檢測(cè)示蹤氣體（如氦氣）的信號(hào)，精確定位真空系統(tǒng)的泄漏點(diǎn)。
工藝過(guò)程監(jiān)控：在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜（PVD/CVD）等工藝中，實(shí)時(shí)監(jiān)控反應(yīng)氣體的消耗和副產(chǎn)物的生成，確保產(chǎn)品質(zhì)量。
材料出氣分析：在真空熱處理或空間模擬環(huán)境中，分析材料在真空下釋放的氣體成分（如水蒸氣、碳?xì)浠衔铮u(píng)估材料的真空適應(yīng)性。
基礎(chǔ)科學(xué)研究：在物理、化學(xué)等實(shí)驗(yàn)室中，用于表面科學(xué)、催化反應(yīng)等領(lǐng)域的氣體成分分析。