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更新時間:2026-03-02
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玉崎科學到貨——ULVAC愛發科CGM-051氣體分析儀
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高靈敏度:能夠檢測到極低濃度的氣體成分,*小可檢測分壓強可達 1×10?? Pa 量級,非常適合用于高真空和高真空環境的泄漏檢測和雜質分析。
快速掃描:可以快速掃描 1~51 amu 的質量范圍,實時監測真空室內氣體成分的變化,幫助工程師判斷工藝狀態或泄漏源。
堅固耐用:采用鑄釷鎢燈絲,相比普通燈絲具有更長的使用壽命和更好的抗中毒能力,適合在復雜工業環境中長期運行。
操作簡便:通常配備的控制單元(如 CGM-CP01),通過電腦軟件進行操作,界面友好,易于進行譜圖分析。
真空系統檢漏:通過檢測示蹤氣體(如氦氣)的信號,定位真空系統的泄漏點。
工藝過程監控:在半導體制造、真空鍍膜(PVD/CVD)等工藝中,實時監控反應氣體的消耗和副產物的生成,確保產品質量。
材料出氣分析:在真空熱處理或空間模擬環境中,分析材料在真空下釋放的氣體成分(如水蒸氣、碳氫化合物),評估材料的真空適應性。
基礎科學研究:在物理、化學等實驗室中,用于表面科學、催化反應等領域的氣體成分分析。