玉崎科學儀器（深圳）有限公司正式成為日本EBARA荏原代理商

深化真空技術與流體機械領域合作，助力中國半導體與制造產業升級

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近日，玉崎科學儀器（深圳）有限公司（以下簡稱“玉崎科學儀器"）與日本百年工業——株式會社荏原制作所（EBARA Corporation）正式簽署代理協議。即日起，玉崎科學儀器（深圳）有限公司正式成為EBARA荏原在中國地區的授權代理商。

此次合作的達成，標志著玉崎科學儀器在真空獲得設備與流體機械領域的戰略布局邁上新臺階。依托玉崎科學儀器深耕日系儀器多年的渠道管理經驗與覆蓋全國的銷售服務網絡，雙方將共同致力于將EBARA荏原的高品質產品——包括干式真空泵、CMP裝置、廢氣處理設備、臭氧水發生裝置及通用泵類產品等——更高效地導入中國市場，為國內半導體、平板顯示、光伏、化工、醫藥及科研領域的客戶提供更短的交期、更具競爭力的價格以及原廠級別的技術支持。

關于EBARA荏原：百年積淀的綜合環境技術企業

荏原制作所（EBARA Corporation）成立于1912年，總部位于日本東京，是一家擁有110余年歷史的綜合性工業集團。作為全球的泵類產品制造商和真空技術企業，荏原業務涵蓋三大核心事業板塊：一是以水泵、壓縮機為核心的流體機械事業；二是以干式真空泵、CMP裝置為核心的精密電子事業；三是以吸收式制冷機、冷卻塔為核心的環境工程事業。

在半導體制造領域，荏原的精密與電子事業公司憑借真空技術和平坦化技術，向全球供應半導體制造的CMP裝置、干式真空泵、廢氣處理裝置、臭氧水生產裝置等產品。這些產品通過高性能、高可靠性和令人放心的技術支持體制，在眾多領域得到了廣泛應用——不僅限于半導體領域，在化學、醫藥、其他制造業和研究開發用途方面同樣大放光彩。

核心產品線介紹

（一）干式真空泵系列

荏原的干式真空泵采用非接觸式結構，對于構建潔凈的真空環境。主要系列包括：

（二）CMP裝置（化學機械研磨設備）

荏原向全球主要半導體廠商供應高吞吐量CMP裝置，如F-REX系列，具備經市場證明的高度可靠性及過程處理性能，并能靈活應對各客戶的特殊規格要求。設備支持干進干出，配備支持大批量生產的多樣輔助設備。

（三）廢氣處理裝置

荏原的廢氣處理裝置可對導致氟化溫室氣體（PFCs）、有毒氣體、VOC等制造工藝中產生的有害氣體進行無毒化處理。G5/G6系列機型能夠高效處理難以進行凈化處理的PFCs氣體，適用于半導體、液晶面板、太陽能電池和LED制造業務。

（四）臭氧水發生裝置

荏原的OZW系列臭氧水生產裝置能夠生成高濃度且濃度非常穩定的臭氧水，有助于提高處理效率、提高潔凈度，廣泛應用于半導體清洗工藝。

（五）通用泵類產品

作為全球水泵產品制造商之一，荏原提供涵蓋清水、污水、化工液體等多種介質的泵類產品，包括CDX系列不銹鋼離心泵、DWO系列臥式不銹鋼泵、3M系列端吸離心泵等，廣泛應用于建筑、工業、市政、農業水利等領域。

關于玉崎科學儀器：專業的日系儀器供應鏈平臺

玉崎科學儀器（深圳）有限公司是日本科學器機株式會社在中國設立的全資子公司。公司憑借與日本眾多制造商的長期良好合作關系，長期致力于為國內客戶提供光學設備、電子計測儀器、科學儀器、環境試驗設備及FA自動化等上萬種產品銷售。

公司擁有專業的銷售與技術團隊，秉持“提供有競爭力的解決方案和服務，持續創造客戶價值"的理念，為國內科研機構及制造業工廠提供從選型到售后的一站式服務。

合作展望：本地化服務全面升級

成為EBARA荏原的授權代理商后，玉崎科學儀器將在中國市場啟動如下服務升級：

1. 現貨庫存：針對熱門型號（如EV-S系列干式真空泵等）建立深圳倉庫安全庫存，大幅縮短交貨周期。

2. 專業技術支持：提供真空泵選型替代、安裝調試、維護保養及配件配套服務，為客戶提供從售前到售后的技術支持。

3. 解決方案整合：結合玉崎科學儀器原有的光學設備、環境監測儀器等產品線，為客戶提供更全面的半導體、光伏及實驗室綜合解決方案。

玉崎科學儀器（深圳）有限公司

2026年4月3日