原裝ULVAC日本愛發科 LS600 螺桿式干式真空泵
原裝ULVAC日本愛發科螺桿式干式真空泵

特征

• 在接近大氣壓下，抽氣速度可達 80m3 ^/ h，與傳統真空泵相比，抽氣時間縮短了約 20%。

• 標配的專用消音器消除了干式真空泵的噪音問題。達到最大壓力時的噪音水平為 61 分貝(A) 或更低，即使在運行過程中也幾乎聽不到。(*1)

• ECO-SHOCK 技術是 C 型規格的標準配置，也是 ULVAC 的專有節能技術。它能將極限壓力下的功耗降低至 0.6kW 或更低。(*2)

• “LS 型號"無需軸封氣體。這降低了主要使用氮氣或廢氣的潔凈工藝的運行成本。(*3)

• 對于那些希望進一步提高抽水速度的人，我們建議將其與機械增壓泵結合使用，這樣可以達到120-1200^{立方米/小時。}

（*1）對于 LS120A-C　
（*2）對于 C 規格　
（*3）對于 L 規格，也可以提供吹掃氣體。

目的

C 規格：潔凈工藝 (LS***AC)
　特點：低功耗型，內置 ECO-SHOCK
　應用：適用于潔凈排氣，如空氣排氣和 N2_排氣，濺射/沉積/鍵合/裝載鎖定室/TMP 輔助等。

L 規格：輕工藝 (LS***AL)
　特點：輕工藝類型，具有表面處理和吹掃功能
　應用：適用于輕工藝，例如排出水蒸氣和揮發性化學品、真空干燥、冷凍干燥、灰化、一般工業應用等。

規格

排氣速度曲線

LS120A	LS300A
LS600A	LS1200A

方面