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      當前位置:首頁產品中心ULVAC日本愛發科ELEC-RZ跨境現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人

      跨境現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人
      產品簡介:

      跨境現貨ULVAC日本愛發科 COVOT-6-X5 真空傳輸機器人
      跨境現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人

      產品型號:ELEC-RZ

      更新時間:2025-11-12

      廠商性質:代理商

      訪問量:102

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      跨境現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人

      跨境現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人

      可搬運多片晶圓的高吞吐量真空傳送機器人


      真空傳輸機器人
      COVOT系列
      Model:COVOT

      ULVAC

      這是一款清潔型多功能真空搬運機器人,融合了 ULVAC 作為真空設備制造商培養的技術。
      • 跨境現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人

        COVOT-6-X5

      • 跨境現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人

        COVOT-CR4

      特點

      • 有多種臂可供選擇,以適應行程、轉彎半徑、傳輸板的數量等。

      • COVOT-CR4 由于其磁流體密封,可在 10-6 Pa 的高真空中使用。

      規格

      COVOT-6-X5COVOT-CR4
      工作壓力區域氣壓~10-1Pa氣壓~10-6Pa
      晶圓尺寸200mm/300mm200mm/300mm
      持有的晶圓數量4枚2枚
      最大范圍 *880mm1050mm
      旋轉角度360° 無窮±180°
      提升行程110mm120mm
      最小旋轉直徑 *980mm960mm
      有效載荷能力(包括手)1kg1kg
      操作速度伸縮式Max 1.5sec / 全行程最大限度 1.5sec/780mm
      Max 2.0sec / 180°Max 2.0sec / 180°
      提升Max 1.5sec / 20mmMax 3.5sec / 105mm
      可重復位置精度伸縮式±0.1mm±0.1mm
      ±0.1mm±0.1mm
      提升±0.1mm±0.1mm
      示教器歸屬感歸屬感
      控制器分開分開
      取決于安裝臂和手。



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